半導(dǎo)體 6〞10槽標(biāo)準(zhǔn)RCA全自動(dòng)清洗設(shè)備
類別:
關(guān)鍵詞:
產(chǎn)品描述
| 項(xiàng)目 | 能力 |
| 產(chǎn)能/效率 | 25枚/cassette: 2 工藝時(shí)間約：20min |
| 可用產(chǎn)品尺寸/大小 | 4〞、5〞、6〞 晶圓 |
| 技術(shù)參數(shù)（功能與精度） | DIW水清洗后水電阻率檢測(cè)16MΩ以上 本設(shè)備是硅片標(biāo)準(zhǔn)清洗工藝；首先去除硅片表面的有機(jī)沾污；然后溶解氧化膜；最后再去除顆粒、金屬等沾污，同時(shí)使硅片表面鈍化 |
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